B1500A 애질런트 반도체 장치 파라미터 분석기/반도체 특성화 시스템 메인프레임

개요 및 기능

키사이트 B1500A(애질런트) 반도체 디바이스 분석기는 IV 및 CV 측정과 고속 고전압 펄스를 모두 지원하는 10개 슬롯 구성을 갖춘 모듈형 계측기입니다. 친숙한 Microsoft ® Windows ® 사용자 인터페이스는 애질런트의 EasyEXPERT 소프트웨어를 지원하여 장치 특성화에 대한 새롭고 보다 직관적인 작업 지향 접근 방식을 제공합니다. 초저전류, 저전압 및 통합 커패시턴스 측정 기능으로 인해 Keysight B1500A(Agilent)는 광범위한 반도체 장치 특성화 요구 사항에 사용할 수 있습니다(IC-CAP는 B1500A를 지원함). 또한 비휘발성 메모리 셀 특성화 및 고속 장치 특성화(고급 NBTI 측정 포함)를 위한 탁월한 솔루션입니다.

 

키사이트 B1500A(애질런트)의 기능 및 이점은 다음과 같습니다.

● 뛰어난 IV 측정 성능: {0}}.1 fA / 0.5 µV 측정 분해능

● 측정 기능에는 단일 및 다중 채널 스윕, 시간 샘플링, 목록 스윕, 준정적 CV(SMU 사용), 직접 제어 및 HV-SPGU용 ALWG(임의 선형 파형 생성) GUI가 포함됩니다.

● 선택 사항인 통합 커패시턴스 모듈은 최대 5MHz의 CV 측정을 지원합니다.

● 0.5 µV 전압 측정 분해능 및 10 fA, 1 fA 또는 0.1 fA 전류 측정 분해능 기능과 함께 사용 가능한 선택적 포지셔너 기반 CV-IV 스위칭 솔루션

● 빠른 테스트 모드를 통한 프로그래밍 없이 내장된 반자동 웨이퍼 프로버 드라이버 및 테스트 시퀀싱으로 손쉬운 테스트 자동화

● 10ns 프로그래밍 가능 펄스 폭 및 +/- 40 V(80V 피크-투-피크) 출력과 함께 사용할 수 있는 선택적 고전압 반도체 펄스 생성기 장치(HV-SPGU).

● ALWG 및 빠른 전류 또는 전압 측정 기능과 함께 사용할 수 있는 파형 발생기/고속 측정 장치(WGFMU) 옵션.

● 10ns 펄스 IV 솔루션은 고유전율 게이트 유전체 및 SOI(silicon-on-insulator) 트랜지스터를 특성화하는 데 사용할 수 있습니다.

● 클래식 테스트 모드는 4155/4156 인터페이스의 모양, 느낌 및 용어를 제공하는 동시에 Microsoft ® Windows ® GUI 기능을 최대한 활용하여 사용자 상호 작용을 향상시키는 데 사용할 수 있습니다.

키사이트 B1500A(애질런트) 반도체 디바이스 분석기의 주요 사양은 다음과 같습니다.

● 일반 기능

o Windows ® XP Professional OS가 있는 PC 기반 기기

o 전류-전압(IV), 커패시턴스-전압(CV), 펄스 생성, 빠른 IV 및 시간 영역 측정을 위한 단일 상자 솔루션.

o 소스 모니터 장치(SMU) 및 기타 모듈 유형(MFCMU, HV-SPGU 및 WGFMU)용 모듈 슬롯 10개 *

o Desktop EasyEXPERT 소프트웨어를 통한 오프라인 데이터 분석 및 애플리케이션 테스트 개발

● 측정 기능

o 0.1fA 및 0.5µV까지 전류-전압(IV) 측정 지원

o 준정적 및 중주파 커패시턴스-전압(CV) 측정 모두 지원 ]

o 펄스 IV, NBTI 및 RTS 측정과 같은 광범위한 응용 분야에 대해 정확한 고속 IV 및 시간 영역 측정을 지원합니다.

o 고전력 및 메모리 장치 테스트를 위한 고전압 펄스 생성(최대 ±40V)을 지원합니다.

 

모듈 선택 가이드:

모듈 메인	슬롯	사양
B1510A HPSMU	2	최대 200V, 1A 힘. 10fA 전류 분해능
B1511A MPSMU	1	최대 100V, 100mA 힘, 10fA 전류 분해능
B1517A HRSMU 시리즈	1	최대 100V, 100mA 힘, 1fA 전류 분해능
E5288A ASU	해당 없음	최대 100V, 100mA 힘, 100aA 전류 분해능
B1520A MFCMU	1	1kHz~5MHz, SMU로 최대 100V DC 바이어스
B1525A HV-SPGU	1	최소 12.5ns 펄스 폭, 10ns 전이 시간, 3레벨 pu로 최대 40V
B1530A WGFMU	1	최소 100ns 펄스 폭, 10V 피크-피크 출력, 5ns 전류 또는 전압 측정 샘플링 속도

 

 

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